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• 控溫范圍可達-142℃-600℃；
• 控溫精度可達±1℃，顯示精度1℃，溫度均勻性±3℃；
• 極限真空度優(yōu)于4*10^-1@機械泵，極限真空度優(yōu)于3*10^-4Pa@分子泵組；
• 探針位移行程40mm，分辨率3μm；
• 三同軸探針夾具，漏電精度100fA；
• 配置氣浮隔振平臺，固有頻率：1.2Hz～1.8Hz；
• 廣泛應用于半導體材料、納米器件、超導材料、鐵電材料等領域的研究與開發(fā)；

     譜量光電 高低溫真空探針臺是一種集成了真空環(huán)境控制、溫度調節(jié)與電學測試功能的精密實驗設備。主要核心功能是在高真空環(huán)境下對樣品進行高溫或低溫條件下的電學特性測試。真空腔體采用304不銹鋼做真空密封設計，機械泵或分子泵組合，極限真空度優(yōu)于3*10^-4Pa。樣品臺高溫通過PID控制器實現(xiàn)快速響應和穩(wěn)定控溫，溫度范圍可達600℃。低溫利用液氦（沸點沸點77K）的極低沸點，通過液氦循環(huán)系統(tǒng)實現(xiàn)超低溫-142℃真空低溫環(huán)境。搭配氣浮隔振平臺實現(xiàn)實驗的超穩(wěn)定性，是模擬不同溫度下半導體材料、芯片，半導體器件等測試的理想之選。