探針臺(tái)
Probe Stations
PLCTS 探針座作為探針臺(tái)的核心部件,主要用途是連接探針和線纜,為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個(gè)導(dǎo)通條件,從調(diào)節(jié)精度上來區(qū)分可分為10μm/5μm/3μm/1μm/0.5μm等,從操作方式來區(qū)分可分為手動(dòng)和電動(dòng),此外根據(jù)應(yīng)用場景的不同又可分為通用型探針座/萬向型探針座/L型探針座等,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體及光電行業(yè)的電學(xué)參數(shù)測試。
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探針位移行程
XYZ三維分別13mm+180°旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié) |
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調(diào)節(jié)精度
10μm |
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電壓測量范圍
≤1000V |
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電流測量范圍
100fA/10pA~10A |
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饋通線纜
同軸線纜/三同軸線纜 |
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線纜長度
1.5米 |


(Keithley26系列源表實(shí)測)

PLCTS 10μm調(diào)節(jié)精度L型探針座適用于100μm以上電極使用,適用于直流I-V測試,C-V測試,I/O點(diǎn)測試等。廣泛應(yīng)用于晶圓芯片、半導(dǎo)體材料器件、太陽能電池、集成電路等相關(guān)行業(yè)領(lǐng)域。