探針臺(tái)
Probe Stations
譜量光電 精密氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)上面板采用優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁不銹鋼,臺(tái)面內(nèi)核為三層夾心式蜂窩結(jié)構(gòu),內(nèi)核密度大幅度提高,具有優(yōu)秀的硬重比和剛性,同時(shí)保證了較低的固有頻率,具備行業(yè)較高的隔振效果。上臺(tái)面采用精密磨削工藝,平面度可達(dá)≤0.05mm/㎡,表面粗糙度:<0.6μm,回旋打磨工藝清除毛邊,達(dá)到無反射啞光效果。氣浮支架采用整體焊接工藝(四支撐或六支撐結(jié)構(gòu)),半膜片式空氣彈簧,采用進(jìn)口三水平調(diào)節(jié)閥技術(shù),反應(yīng)靈敏,響應(yīng)迅速,在超載偏重的實(shí)驗(yàn)條件下,能瞬間恢復(fù)初始的平衡狀態(tài)。支撐腿內(nèi)部為二級(jí)氣室結(jié)構(gòu),氣室間帶有阻尼孔,氣動(dòng)元件全部采用德國(guó)FESTO產(chǎn)品,標(biāo)配優(yōu)質(zhì)大功率超靜音壓縮機(jī),整體結(jié)構(gòu)保證平臺(tái)有較高的穩(wěn)定性。
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平面度
≤0.05mm/㎡ |
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表面粗糙度
<0.6μm |
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固有頻率
X方向:1.2~2Hz,Y方向:1.2~2Hz |
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振幅
<2μm |
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螺孔間距
25mm×25mm |
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螺孔規(guī)格
M6(公制) |




| 定制類型 | 示意圖 | 具體描述 |
|---|---|---|
| 無磁平臺(tái)定制 |
| 支持(臺(tái)面)無磁和(臺(tái)面支架)整體全無磁兩種形式 左圖為中電某所PLGZQ-1815全無磁精密型氣浮隔振光學(xué)平臺(tái) |
| 非標(biāo)準(zhǔn)尺寸定制 |
| 各種非標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)尺寸均可定制 左圖為2.7x1.5米阻尼隔振光學(xué)平臺(tái) |
| 異型結(jié)構(gòu)定制 |
| 非標(biāo)準(zhǔn)矩形臺(tái)面等異型結(jié)構(gòu)來圖定制 |
| 各類刻度線定位標(biāo)識(shí) |
| 刻度線和定位標(biāo)識(shí)定制 |
PLCTS 精密氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)支撐腿內(nèi)部采用雙腔氣室結(jié)構(gòu),氣室間帶有阻尼孔。氣動(dòng)元件采用德國(guó)FESTO產(chǎn)品,標(biāo)配優(yōu)質(zhì)大功率超靜音壓縮機(jī),在降低固有頻率的同時(shí)又加強(qiáng)了減振效果。臺(tái)面平面度:≤0.05mm/㎡,表面粗糙度:<0.6μm,達(dá)到無反射啞光效果。支持客戶尺寸結(jié)構(gòu)定制化需求,適應(yīng)更多實(shí)驗(yàn)環(huán)境。