• 隔振方式：三線擺桿、混合腔結(jié)構(gòu)；
• 阻尼方式：微米級(jí)層流阻尼，SMC 納米級(jí)高流量氣動(dòng)執(zhí)行元件；
• 通過(guò)實(shí)驗(yàn)理論值固有頻率：垂直＜1.0～1.5Hz；水平＜1.0～1.5Hz；
• 支腿頂部配有安全連接件，大大提升安全性；
• 臺(tái)面具有M6螺紋孔，螺孔間距： 25mm×25mm陣列分布，可在臺(tái)面固定光學(xué)元件等；

     譜量光電 三線擺式高性能氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)是我司為超高精密實(shí)驗(yàn)需求開發(fā)的一款高性能氣浮隔振平臺(tái)。上面板采用優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁不銹鋼，臺(tái)面內(nèi)核為三層夾心式蜂窩結(jié)構(gòu)，內(nèi)核密度大幅度提高，具有優(yōu)秀的硬重比和剛性，同時(shí)保證了較低的固有頻率，具備行業(yè)較高的隔振效果。上臺(tái)面采用精密磨削工藝，平面度可達(dá)≤0.05mm/㎡，表面粗糙度：<0.6μm，回旋打磨工藝清除毛邊，達(dá)到無(wú)反射啞光效果。支腿為獨(dú)立式圓腿支撐，無(wú)整體共振，內(nèi)部三線擺設(shè)計(jì)可將振動(dòng)隔離到更低的水平，并在受到干擾后實(shí)現(xiàn)高精度工作臺(tái)重新定位，層流阻尼技術(shù)大大提高阻尼效率，混合腔設(shè)計(jì)極大增加給定尺寸下的柔性體積，同時(shí)有效降低了固有頻率。