探針臺
Probe Stations
PLCTS 芯片臺夾具芯片設(shè)計結(jié)構(gòu)小巧,方便測試。芯片固定方式主要分真空吸附或真空吸附+夾持2種款式可選,在此基礎(chǔ)上還升級了TEC加熱系統(tǒng),適用于對溫度敏感芯片的多種芯片應(yīng)用場景。溫控加熱范圍:10~85°C,溫控精度可達(dá):±0.02℃,具有較高的控溫穩(wěn)定性。還可根據(jù)客戶應(yīng)用需求進(jìn)行定制,如需定制可聯(lián)系客服。
PLCTS 芯片臺(真空吸附)設(shè)計結(jié)構(gòu)小巧,方便測試。芯片固定方式主要是真空吸附,采用進(jìn)口無油真空泵,吐出空氣量 7L/min,達(dá)到真空度-33.3Kpa,耐用時間超 10000 小時。夾具固定孔位20x20mm,適用于多種平坦芯片、晶圓等樣品固定。