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半圓形探針架，可放置6個DC探針座;

漏電精度100fA/10pA;

整體位移精度3μm;

1微米以上電極/PAD使用;

樣品臺XYZR四維調(diào)節(jié);

模塊化設計，可以搭配不同構件完成多種不同測試需求;