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• 滿足1um以上電極/PAD使用;
• 探針臺整體位移精度高達(dá)3μm，樣品臺四維精密調(diào)節(jié)；
• 探針座采用進(jìn)口交叉滾柱導(dǎo)軌，無回程差設(shè)計；
• 顯微鏡增加XY50mm顯微成像移動功能；
• 弧形探針架設(shè)計，可放置 6個DC 探針座/4個RF探針座；
• 漏電精度：100fA（屏蔽箱內(nèi)）；
• 應(yīng)用于：MEMS測試、芯片測試、晶圓測試、測試光電器件的電學(xué)性能和光學(xué)性能等；

     譜量光電 探針臺是一種重要的半導(dǎo)體測試設(shè)備。探針臺的工作原理是將芯片吸附在樣品臺上，然后探針座精密移動將探針精確定位到待測點上，線纜連接半導(dǎo)體參數(shù)分析儀（數(shù)字源表）通過測試軟件對芯片進(jìn)行電性能測試分析。具體來說，探針臺將測試探針放置在芯片表面的測試點上，然后利用信號源給芯片施加一定的電壓或頻率信號。再利用示波器等儀器檢測芯片的輸出電信號，從而確定芯片的電參數(shù)和性能。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試，可以根據(jù)客戶需求提供定制化產(chǎn)品，是高?？蒲屑爱a(chǎn)業(yè)研發(fā)的理想之選。