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• 整體一體化設(shè)計(jì)，集成度高，功能實(shí)用；
• U型探針架，可以放置4個(gè)探針座；
• 探針臺(tái)整體位移精度高達(dá)10μm，樣品臺(tái)四維精密調(diào)節(jié)；
• 漏電流精度：10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）；
• 精密燕尾槽，線性移動(dòng)，無(wú)回程差設(shè)計(jì)；
• 應(yīng)用于：功率器件測(cè)試、MEMS測(cè)試、太陽(yáng)能電池片測(cè)試、材料表面電阻率測(cè)試等；

     譜量光電 根據(jù)客戶實(shí)際應(yīng)用需求，推出該款集成度高，功能實(shí)用，性價(jià)比優(yōu)異的模塊化探針臺(tái)，該系列探針臺(tái)主要由光學(xué)成像部分、光學(xué)隔振平板、探針座 、四維調(diào)節(jié)樣品臺(tái)、真空吸附系統(tǒng)組成。滿足產(chǎn)線基本電學(xué)參數(shù)測(cè)試同時(shí)兼顧低成本優(yōu)勢(shì)，已成為工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域批量檢測(cè)的理想之選。