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精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)（金相款）

  • 參數(shù)規(guī)格
  • 細(xì)節(jié)展示
  • 漏電精度測(cè)試
  • IV測(cè)試曲線(xiàn)
產(chǎn)品說(shuō)明
  • 探針臺(tái)整體位移精度高達(dá)3μm，樣品臺(tái)四維精密調(diào)節(jié)；
  • 顯微鏡增加X(jué)Y精密移動(dòng)功能，位移精度：3μm；
  • 雙目鏡SWH10X/25mm；0.65倍CTV，明場(chǎng)長(zhǎng)軸照明器；
  • 預(yù)留濾光及偏光插槽，帶光闌調(diào)節(jié)通光量及視野大??；
  • 選用95mm大視場(chǎng)平場(chǎng)復(fù)消色差長(zhǎng)焦物鏡；
  • 應(yīng)用于：MEMS測(cè)試、芯片測(cè)試、晶圓測(cè)試、測(cè)試光電器件的電學(xué)性能和光學(xué)性能等；

     譜量光電 精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)（金相款）能夠清晰觀(guān)測(cè)到被測(cè)元件的微小結(jié)構(gòu)和細(xì)節(jié)，確保測(cè)試的準(zhǔn)確性。具有高分辨率觀(guān)測(cè)、高精度測(cè)試等特點(diǎn)；預(yù)留濾光及偏光插槽，帶光闌調(diào)節(jié)通光量及視野大小，支持多組物鏡切換使用。在半導(dǎo)體器件的研發(fā)和測(cè)試中，更利于觀(guān)察1μm以上電極/PAD使用，大大的提高了測(cè)試結(jié)果的穩(wěn)定性。

通用參數(shù)
樣品臺(tái)行程
XY軸110mm，Z軸10mm，360°粗調(diào)，±5°精調(diào)
放大倍數(shù)
200～1000倍
漏電精度
100fA（屏蔽箱內(nèi)）
線(xiàn)纜規(guī)格
三同軸接口/同軸接口BNC、鱷魚(yú)夾、香蕉插頭（可選配）
物鏡
95mm大視場(chǎng)平場(chǎng)復(fù)消色差長(zhǎng)焦物鏡

精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)（金相款）
  • 雙目鏡SWH10X/25mm；0.65倍CTV，明場(chǎng)長(zhǎng)軸照明器；
  • 標(biāo)配5X，10X，20X，50X五種復(fù)消色差長(zhǎng)焦物鏡；
  • 探針座調(diào)節(jié)精度：3μm；
  • 線(xiàn)纜規(guī)格：三同軸線(xiàn)纜，漏電精度：100fA（屏蔽箱內(nèi)）;

PLCTS 精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)（金相款）主要是對(duì)精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)的顯微鏡成像進(jìn)行升級(jí)。標(biāo)配5X，10X，20X，50X五孔物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)，選用95mm大視場(chǎng)平場(chǎng)復(fù)消色差長(zhǎng)焦物鏡，最大放大倍率～1000倍。如需更換探針座款式（1μm、0.7μm等）及線(xiàn)纜規(guī)格（同軸線(xiàn)纜）可聯(lián)系客服。

右側(cè)圖展示
產(chǎn)品型號(hào) 樣品臺(tái)尺寸 探針座調(diào)節(jié)精度 漏電精度 放大倍數(shù) 對(duì)比 單價(jià) 發(fā)貨日期 購(gòu)物車(chē)
TLRH-04M 4英寸 3μm 100fA（屏蔽箱內(nèi)） 200~1000倍
聯(lián)系客服 聯(lián)系客服
加入購(gòu)物車(chē)
TLRH-06M 6英寸 3μm 100fA（屏蔽箱內(nèi)） 200~1000倍
聯(lián)系客服 聯(lián)系客服
加入購(gòu)物車(chē)
TLRH-08M 8英寸 3μm 100fA（屏蔽箱內(nèi)） 200~1000倍
聯(lián)系客服 聯(lián)系客服
加入購(gòu)物車(chē)
TLRH-12M 12英寸 3μm 100fA（屏蔽箱內(nèi)） 200~1000倍
聯(lián)系客服 聯(lián)系客服
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